[发明专利]对多晶硅生产中循环氢进行纯化的方法及系统在审
| 申请号： | 202010121514.8 | 申请日： | 2020-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN111268646A | 公开（公告）日： | 2020-06-12 |
| 发明（设计）人： | 吴锋;赵培芝;孙江桥;徐玲锋 | 申请（专利权）人： | 江苏鑫华半导体材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C01B3/58 | 分类号： | C01B3/58;C01B3/56 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 肖阳 |
| 地址： | 221004 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了对多晶硅生产中循环氢进行纯化的方法及系统。该方法包括：(1)利用活性炭对多晶硅生产中的尾气进行吸附处理，以便得到氢气粗品；(2)利用液氮对所述氢气粗品进行冷凝处理；(3)将冷凝处理后的氢气依次经贵金属催化剂催化、分子筛吸附和过滤器过滤，以便得到初级纯化氢气；(4)利用金属合金对所述初级纯化氢气进行吸附处理，以便得到高纯氢气，其中，所述金属合金包括选自Ti‑Cr‑V‑Zr合金、Ti‑V‑Zr合金、Fe‑Zr‑V合金和Li‑Ba‑Mo合金中的至少一种。该方法不仅工艺简单、流程短，而且提纯效率高，纯化效果好，最终提纯得到的高纯氢气中甲烷和氮气的体积含量均不高于50ppm，可广泛应用于工业生产。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶 生产 循环 进行 纯化 方法 系统 | ||
【主权项】：
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