[发明专利]一种GaAs基LED手动键合的制作方法有效
| 申请号： | 202010123449.2 | 申请日： | 2020-02-27 |
| 公开（公告）号： | CN113314645B | 公开（公告）日： | 2022-07-12 |
| 发明（设计）人： | 徐晓强;程昌辉;王梦雪;闫宝华 | 申请（专利权）人： | 山东浪潮华光光电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00;H01L21/60 |
| 代理公司： | 济南金迪知识产权代理有限公司 37219 | 代理人： | 赵龙群 |
| 地址： | 261061 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种GaAs基LED手动键合的制作方法，属于半导体器件加工领域，包括：(1)材料准备：硅片作为永久衬底，GaAs基LED晶片作为临时衬底；(2)贴片：将永久衬底的金属粘附层面和临时衬底的反射镜层面手动粘附在一起，初步得到晶片；(3)压片：先用两块形状、面积与晶片相同的铝箔片放置在晶片上下两侧，后将与晶片形状、面积均相同的两块压板放置在铝箔片的上下两侧，使用压片夹具将压板压紧，分三次压片，逐次增加接触面积和扭矩大小；(4)高温键合；(5)衬底腐蚀及(6)管芯结构制作。本发明不使用键合机仅通过常用的设备工具实现了手动键合，且该键合方法可以大幅度提高管芯整体良率，降低了制作成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 gaas led 手动 制作方法 | ||
【主权项】：
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