[发明专利]一种单一电子束蒸发源的镀膜机有效
| 申请号： | 202010123890.0 | 申请日： | 2020-02-27 |
| 公开（公告）号： | CN111394699B | 公开（公告）日： | 2022-09-27 |
| 发明（设计）人： | 鲍刚华;卢成;王伟;张勇军;李江平 | 申请（专利权）人： | 成都国泰真空设备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30 |
| 代理公司： | 成都其高专利代理事务所(特殊普通合伙) 51244 | 代理人： | 贾波 |
| 地址： | 610000 四川省成都市温江*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种单一电子束蒸发源的镀膜机，包括公转夹具（1）、真空室腔体（6）、真空室门（9），在真空室腔体（6）内设置有单一电子束蒸发源（4），在真空室腔体（6）内公转夹具（1）的下方和电子束蒸发源（4）所在蒸发平面（5）的上方设置有可升降的修正板系统，且修正板系统包括可独立工作的内侧修正板（2）和外侧修正板（3），能够在降低成本的同时，有效提高镀膜的均匀性，并使得光学膜厚均匀性得到有效控制。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单一 电子束 蒸发 镀膜 | ||
【主权项】：
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