[发明专利]体声波滤波器元件及其形成方法、多工器及通讯设备有效
| 申请号： | 202010123929.9 | 申请日： | 2020-02-27 |
| 公开（公告）号： | CN111327296B | 公开（公告）日： | 2020-12-22 |
| 发明（设计）人： | 蔡华林;庞慰 | 申请（专利权）人： | 诺思（天津）微系统有限责任公司 |
| 主分类号： | H03H9/64 | 分类号： | H03H9/64;H03H9/72 |
| 代理公司： | 北京汉智嘉成知识产权代理有限公司 11682 | 代理人： | 姜劲;谷惠敏 |
| 地址： | 300457 天津市滨*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明涉及滤波器技术领域，特别地涉及一种体声波滤波器元件及其形成方法、多工器及通讯设备，该方法包括：将一部分谐振器设于上晶圆，另一部分谐振器设于下晶圆；上晶圆和下晶圆叠加设置；上晶圆的对接管脚与下晶圆的对接管脚键合，使得上晶圆和下晶圆的谐振器连接形成滤波器。根据本发明的技术方案，在上晶圆和下晶圆上分别设置谐振器，两者上的谐振器通过对接管脚键合形成滤波器，因此，可有助于缩小上晶圆及下晶圆中的谐振器占据的平面面积，进而助于减小滤波器的体积。 | ||
| 搜索关键词： | 声波 滤波器 元件 及其 形成 方法 多工器 通讯设备 | ||
【主权项】：
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