[发明专利]一种基于钌酸锶薄膜的光、热探测器及其制备方法有效
申请号: | 202010124529.X | 申请日: | 2020-02-27 |
公开(公告)号: | CN111403587B | 公开(公告)日: | 2023-05-26 |
发明(设计)人: | 陈明敬;王淑芳;马继奎;方立德;赵宁;傅广生;李小亭 | 申请(专利权)人: | 河北大学 |
主分类号: | H10N10/855 | 分类号: | H10N10/855;H10N10/01;G01J1/42 |
代理公司: | 石家庄国域专利商标事务所有限公司 13112 | 代理人: | 苏艳肃 |
地址: | 071002 河北*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: |
本发明提供了一种基于钌酸锶薄膜的光、热探测器及其制备方法,所述光、热探测器自下而上依次包括斜切基片、横向热电元件、金属电极以及与金属电极相连的用于输出电压信号的引线;所述横向热电元件是采用脉冲激光沉积技术在斜切基片上制备的 |
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搜索关键词: | 一种 基于 钌酸锶 薄膜 探测器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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