[发明专利]一种基于钌酸锶薄膜的光、热探测器及其制备方法有效

专利信息
申请号: 202010124529.X 申请日: 2020-02-27
公开(公告)号: CN111403587B 公开(公告)日: 2023-05-26
发明(设计)人: 陈明敬;王淑芳;马继奎;方立德;赵宁;傅广生;李小亭 申请(专利权)人: 河北大学
主分类号: H10N10/855 分类号: H10N10/855;H10N10/01;G01J1/42
代理公司: 石家庄国域专利商标事务所有限公司 13112 代理人: 苏艳肃
地址: 071002 河北*** 国省代码: 河北;13
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摘要: 发明提供了一种基于钌酸锶薄膜的光、热探测器及其制备方法,所述光、热探测器自下而上依次包括斜切基片、横向热电元件、金属电极以及与金属电极相连的用于输出电压信号的引线;所述横向热电元件是采用脉冲激光沉积技术在斜切基片上制备的c轴倾斜生长的钌酸锶薄膜,所述钌酸锶薄膜的厚度为20~200nm。本发明的钌酸锶薄膜热电元件灵敏度和响应度等探测性能优异,将其应用于制作宽波段光、热探测器,不仅具有灵敏度高和响应时间快等优异性能,还具有制备工艺简单和生产成本低的优点,在光、热探测器领域应用前景广阔。
搜索关键词: 一种 基于 钌酸锶 薄膜 探测器 及其 制备 方法
【主权项】:
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