[发明专利]一种基于标准IC工艺的铁氧体薄膜变压器有效
申请号: | 202010126030.2 | 申请日: | 2020-02-27 |
公开(公告)号: | CN111276322B | 公开(公告)日: | 2020-12-29 |
发明(设计)人: | 胡炜薇;经龙 | 申请(专利权)人: | 杭州电子科技大学 |
主分类号: | H01F27/28 | 分类号: | H01F27/28;H01F27/32;H01F27/24 |
代理公司: | 浙江永鼎律师事务所 33233 | 代理人: | 陆永强 |
地址: | 310018*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明公开了一种基于标准IC工艺的铁氧体薄膜变压器,包括高阻硅基片(1)上依次覆有第一绝缘层(2)、金属初级线圈连接线层(3)、第二绝缘层(4)、金属初级线圈绕组层(5)、铁氧体磁芯薄膜层(6)、金属次级线圈绕组层(7)、第三绝缘层(8)、金属次级线圈连接线层(9)、第四绝缘层(10);所述的金属初级线圈和金属次级线圈为半圆形形状,并且初次级线圈上下重合。本发明通过使用高阻硅基片(1)和第一绝缘层(2),减少衬底涡流损耗;使用具有较高电导率的金属铜作为导电线圈材料,可减少金属损耗;使用YIG铁氧体薄膜作为磁芯,可以增强电感值和品质因数,同时YIG铁氧体磁芯的使用可以减少版图面积;采用标准IC工艺实现,有集成度高、成本低、易于大规模生产的优点。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 标准 ic 工艺 铁氧体 薄膜 变压器 | ||
【主权项】:
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