[发明专利]MEMS惯性传感器及应用方法和电子设备有效
申请号: | 202010126245.4 | 申请日: | 2020-02-26 |
公开(公告)号: | CN111208317B | 公开(公告)日: | 2021-07-02 |
发明(设计)人: | 邹波;刘爽;黄岩 | 申请(专利权)人: | 深迪半导体(绍兴)有限公司 |
主分类号: | G01P15/125 | 分类号: | G01P15/125;G01P15/18;G01L1/14;G01L9/12;G01C19/00 |
代理公司: | 上海剑秋知识产权代理有限公司 31382 | 代理人: | 杨飞 |
地址: | 312030 浙江省绍兴市柯桥区柯桥*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明提供了MEMS惯性传感器及应用方法和电子设备,包括一种加速度计的应用方法,其基于所述加速度计在外力作用下产生的应变对其检测信号的影响,将所述检测信号也用于反映外力作用;还包括一种陀螺仪的应用方法,其基于所述陀螺仪在外力作用下产生的应变对其检测信号的影响,将所述检测信号也用于反映外力作用;还包括使用上述方法的电子设备。 | ||
搜索关键词: | mems 惯性 传感器 应用 方法 电子设备 | ||
【主权项】:
暂无信息
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