[发明专利]表面等离子激元定向高效耦合相位可调超表面形成方法在审
| 申请号： | 202010126271.7 | 申请日： | 2020-02-27 |
| 公开（公告）号： | CN111290058A | 公开（公告）日： | 2020-06-16 |
| 发明（设计）人： | 吕江涛;王禄丰;孔鲁;苏金鑫;杨冀铭;莫欣伟 | 申请（专利权）人： | 东北大学秦皇岛分校 |
| 主分类号： | G02B5/00 | 分类号： | G02B5/00;G02B1/00 |
| 代理公司： | 沈阳优普达知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 21234 | 代理人： | 李晓光 |
| 地址： | 066004 河北省秦皇*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明公开一种表面等离子激元定向高效耦合相位可调超表面形成方法，步骤为：在一种已有SPPs相位调节超表面原始结构的左侧刻蚀单个反射光栅，将左侧由原始结构激发的SPPs反射至右侧，其中反射光栅的刻蚀方式为不完全刻蚀，光源设置在整个超表面下方，即背部照明方式；调节反射光栅中心到已有结构中心的距离，使得反射至右侧的SPPs与原有激发的SPPs发生相长干涉，提高激发效率；将单个反射光栅扩展至多个即形成反射光栅阵列，获得更高的激发效率的同时实现定向耦合以及相位调控。本发明避免了对原有结构激发的SPPs的干扰，实现SPPs的定向传播和耦合增强，进一步提高SPPs的激发效率且不影响超表面原有的相位调节能力。 | ||
| 搜索关键词： | 表面 等离子 定向 高效 耦合 相位 可调 形成 方法 | ||
【主权项】：
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