[发明专利]一种大口径球面光学元件球心和曲率半径测量方法有效

专利信息
申请号: 202010127956.3 申请日: 2020-02-28
公开(公告)号: CN111272103B 公开(公告)日: 2020-12-25
发明(设计)人: 刘东;孙焕宇;王狮凌;卢岸 申请(专利权)人: 浙江大学
主分类号: G01B11/255 分类号: G01B11/255;G01B11/00;G01M11/00
代理公司: 杭州天勤知识产权代理有限公司 33224 代理人: 彭剑
地址: 310013 浙江*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明公开了一种大口径球面光学元件球心和曲率半径测量方法,采用自动测量装置,所述的自动测量装置包括样品台、三维位移台、四台激光位移传感器、数据采集单元、数据分析处理单元以及控制单元。测量时,四台激光位移传感器同时提供球面光学元件上四个采样点的相对距离;数据采集单元与分析处理单元通过相对距离,自动计算出球面坐标方程,并输出球心位置和曲率半径。测量过程中,可通过三维位移台的移动更换采样位置,在多个采样位置进行测量,并将结果取平均,提高测量精度。本发明操作步骤简单,无需大口径球面光学元件进行任何移动,有效降低了机械结构的复杂程度和成本,实现大口径球面光学元件球心和曲率半径的非接触式、快速测量。
搜索关键词: 一种 口径 球面 光学 元件 球心 曲率 半径 测量方法
【主权项】:
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