[发明专利]一种基于门控循环单元的迟滞建模与端对端补偿方法在审
申请号: | 202010131857.2 | 申请日: | 2020-02-29 |
公开(公告)号: | CN111324038A | 公开(公告)日: | 2020-06-23 |
发明(设计)人: | 方勇纯;武毅男;刘存桓;樊志;王超 | 申请(专利权)人: | 南开大学 |
主分类号: | G05B13/04 | 分类号: | G05B13/04 |
代理公司: | 天津耀达律师事务所 12223 | 代理人: | 侯力 |
地址: | 300071*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | 一种基于门控循环单元的迟滞建模与端对端补偿方法。本发明充分考虑迟滞效应的非线性、记忆特性和频率相关性,设计包含门控循环单元和反向传播神经网络在内的双层结构迟滞模型,准确描述迟滞效应的复杂特性;针对迟滞效应导致原子力显微镜成像畸变的问题,利用本发明所建立的迟滞模型,计算得到扫描点在正向和反向扫描过程中的实际位置,通过设计改进的埃尔米特插值方法,获得更加真实的样品形貌图像。实验结果表明,本发明所建立的迟滞模型精度高,泛化能力强,能够准确模拟压电驱动器迟滞效应的非线性、记忆特性和频率相关性,利用该模型所设计的补偿算法,能够有效消除迟滞效应导致的图像畸变,从而提升原子力显微镜的成像质量。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 门控 循环 单元 迟滞 建模 补偿 方法 | ||
【主权项】:
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