[发明专利]基于阻抗测量的近场微波测量系统在审
| 申请号： | 202010133878.8 | 申请日： | 2020-03-02 |
| 公开（公告）号： | CN111189855A | 公开（公告）日： | 2020-05-22 |
| 发明（设计）人： | 张洮 | 申请（专利权）人： | 张洮;李赞 |
| 主分类号： | G01N22/00 | 分类号： | G01N22/00;G01R27/26;G01B15/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201210 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种基于阻抗测量的近场微波测量系统，包括微波网络分析系统，位置装置，近场微波阻抗传感器和数据处理系统。提供了确定近场微波阻抗传感器的复阻抗；用探头阻抗反馈控制探头距离被测物的绝对位置；从探头阻抗及位置参数获取被测物的物质性质参数或表面形貌的技术方案。解决了高分辨率的光学测试技术不能定量检测样品物质性质或表面形貌；传统的在微波频谱定量测试介电参数的技术很难在显微系统中使用；传统近场微波测量系统需要对入射微波信号进行调制解调，使用100KHz以下的低频锁相环，很难解耦物质性质参数与探头相对被测物位置对被测物反射微波信号的影响，不能可靠控制探头距离被测物的绝对位置，只能用于窄频段测量等技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 阻抗 测量 近场 微波 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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