[发明专利]用于多点热路径评估的系统和方法在审

专利信息
申请号: 202010134198.8 申请日: 2020-03-02
公开(公告)号: CN111640684A 公开(公告)日: 2020-09-08
发明(设计)人: G·N·弗朗西斯科;K·M·格迪瑟;J·L·吉恩;N·J·曼尼;T·E·普里切特;S·鲁斯;姚国辉 申请(专利权)人: 德尔福技术知识产权有限公司
主分类号: H01L21/66 分类号: H01L21/66
代理公司: 上海专利商标事务所有限公司 31100 代理人: 周全;钱慰民
地址: 巴巴多斯*** 国省代码: 暂无信息
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 用于评估与集成电路相关联的热路径的方法包括:基于集成电路的设计类型来标识热施加模式。方法还包括测量与集成电路相关联的至少一个热感测器件的第一温度。方法还包括根据热施加模式将热施加到集成电路的至少一部分。方法还包括测量至少一个热感测设备的第二温度。方法还包括确定第一温度与第二温度之间的差。方法还包括基于第一温度和第二温度之间的差与至少一个热感测器件的初始温度和后续温度之间的预定差之间的比较,来确定集成电路和相关联的基板之间的热路径是否足够。
搜索关键词: 用于 多点 路径 评估 系统 方法
【主权项】:
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