[发明专利]低深宽比的单质量块三轴MEMS惯性加速度计及其制备方法有效
| 申请号： | 202010135345.3 | 申请日： | 2020-03-02 |
| 公开（公告）号： | CN111289772B | 公开（公告）日： | 2022-03-15 |
| 发明（设计）人： | 赵成;杨义军;朱骏;郭鹏飞;王健 | 申请（专利权）人： | 扬州大学 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125;G01P15/18;B81C1/00;B81C3/00 |
| 代理公司： | 南京苏科专利代理有限责任公司 32102 | 代理人： | 董旭东;陈栋智 |
| 地址： | 225000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种低深宽比的单质量块三轴MEMS惯性加速度计，包括自下而上依次键合的底板、空腔结构层、质量块与悬臂梁结构层、顶板；底板与空腔结构层通过底板键合环键合，空腔结构层与悬臂梁固支边框通过空腔基板键合环键合，各个悬臂梁悬置于空腔之上并使质量块悬置于空腔之中，悬臂梁固支边框与顶板通过顶板键合环键合，最终形成一个气密封闭结构，本发明采用低深宽比的质量块和空腔结构层，总体结构简单、制备工艺简化、制作方便，各个轴向加速度的感测灵敏度和感测精度高。 | ||
| 搜索关键词： | 低深宽 单质 量块 mems 惯性 加速度计 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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