[发明专利]真空蒸馍设备在审
| 申请号： | 202010137385.1 | 申请日： | 2020-03-03 |
| 公开（公告）号： | CN111188020A | 公开（公告）日： | 2020-05-22 |
| 发明（设计）人： | 陈珉;黎守新 | 申请（专利权）人： | 成都晶砂科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C14/24 |
| 代理公司： | 成都百川兴盛知识产权代理有限公司 51297 | 代理人： | 王云春;夏晓明 |
| 地址： | 610041 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开一种真空蒸馍设备，包括真空室；蒸发源；晶振座；晶振；传感器；前反馈控制模块；机架；基板；发光部件；光电传感器部件；后反馈控制模块；蒸发源挡板；第一驱动装置；总控制模块，其将蒸发速率与预定蒸发速率比较得到比较结果并基于比较结果向前反馈控制模块发出控制第一驱动装置驱动蒸发源挡板沿与蒸发源中的材料在气相时向晶振、基板流动的路径相交的轨迹往复移动使挡住蒸发源中的材料在气相时向晶振座、基板流动的路径的面积增大、减小或保持不变的第一控制信号，其当实际测量厚度等于或大于预定厚度值时发出表征蒸膜已完成的第二控制信号。它能监测蒸发源材料蒸发速率及沉积在基片上膜层厚度，精确控制沉积过程中膜层厚度。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 蒸馍 设备 | ||
【主权项】：
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