[发明专利]一种原位间隙检测装置与检测方法有效
| 申请号： | 202010138013.0 | 申请日： | 2020-03-03 |
| 公开（公告）号： | CN111272089B | 公开（公告）日： | 2022-06-28 |
| 发明（设计）人： | 罗先刚;王长涛;赵承伟;龚天诚;罗云飞;张逸云 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | G01B11/14 | 分类号： | G01B11/14 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 610209 *** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种原位间隙检测装置与检测方法。该装置包括：用于支撑整体结构的外围框架；用于精密定位、调平、间隙控制和承载样片的工件台模块；用于装载母板、检测调平精度的承载模块；用于测量原位间隙的原位间隙检测模块；用于数据采集、处理与反馈控制的控制系统。该发明基于白光干涉间隙测量方法，通过外围三点监测母板与样片之间的间隙，并反馈控制工件台模块进行精密调平与间隙控制。同时结合白光干涉间隙测量方法与显微成像方法，对母板与样片中间工作区域进行横向分辨力高、检测精度高的原位间隙检测。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 原位 间隙 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
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