[发明专利]一种基于铋硒碲薄膜材料的光、热探测器及其制备方法

摘要

本发明提供了一种基于铋硒碲薄膜材料的光、热探测器及其制备方法，光、热探测器包括横向热电元件、金属电极及金属引线，在横向热电元件的上表面设置有两个对称的金属电极，金属引线与金属电极相连接；横向热电元件包括铋硒碲薄膜，该铋硒碲薄膜沿c轴倾斜生长在斜切氧化物单晶基片上。本发明探测器的探测元件结构简单、制备方法简便、成本低廉，所得光、热探测器探测光谱波段宽，探测灵敏度高，响应时间快，且可探测各种热辐射，应用前景广阔。