[发明专利]一种压电薄膜及其制备方法、确定压电晶轴方向的方法有效
| 申请号： | 202010143541.5 | 申请日： | 2020-03-04 |
| 公开（公告）号： | CN111341904B | 公开（公告）日： | 2023-06-23 |
| 发明（设计）人： | 张秀全;刘桂银;李真宇;薛海蛟 | 申请（专利权）人： | 济南晶正电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H10N30/072 | 分类号： | H10N30/072;H10N30/04;H10N30/09;H10N30/30;H01L23/544 |
| 代理公司： | 北京弘权知识产权代理有限公司 11363 | 代理人： | 逯长明;许伟群 |
| 地址： | 250100 山东省济南市高新区港*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本申请提供一种压电薄膜及其制备方法、确定压电晶轴方向的方法，所述方法包括：在薄膜基板的键合面边缘预设位置制作至少一个与薄膜基板主定位边平行或垂直的定位标记；向薄膜基板的键合面注入离子，将薄膜基板依次分为薄膜层、分离层和余质层；在衬底基板上沉积一层二氧化硅层；将薄膜基板的键合面与衬底基板的二氧化硅层键合，得到键合体；对键合体进行热处理，将所述余质层与所述薄膜层分离。利用上述带有定位标记的薄膜基板制备得到的压电薄膜上同样带有定位标记，以使得到压电薄膜成品后不再利用修正后的定位边重新确定压电晶轴方向，而是利用薄膜层上的定位标记来确定压电晶轴方向，因此，能够得到该压电薄膜成品准确的最佳压电晶轴方向。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 压电 薄膜 及其 制备 方法 确定 晶轴 方向 | ||
【主权项】：
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