[发明专利]一种晶体连续生长的加料控制方法和控制系统在审
| 申请号： | 202010144600.0 | 申请日： | 2020-03-04 |
| 公开（公告）号： | CN113308730A | 公开（公告）日： | 2021-08-27 |
| 发明（设计）人： | 邓浩;周锐;李侨;付泽华;徐战军;张永辉;张伟建;张龙龙;王建波 | 申请（专利权）人： | 隆基绿能科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/02 | 分类号： | C30B15/02;C30B15/20;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319 | 代理人： | 莎日娜 |
| 地址： | 710100 陕西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供了一种晶体连续生长的加料控制方法和控制系统，应用于单晶硅棒的生长过程中的等径生长阶段，所述方法包括：获取等径生长阶段所述单晶硅棒的测量直径；获取等径生长阶段所述单晶硅棒的提拉速度；基于所述单晶硅棒的测量直径、单晶硅棒的提拉速度、所述单晶硅棒的密度确定所述单晶硅棒的质量在单位时间内的增加值；根据所述单晶硅棒的质量在单位时间内的增加值确定石英坩埚的熔料区域在单位时间内的加料量。本发明实施例中，基于单晶硅棒在单位时间内的增加值，确定石英坩埚的熔料区域在单位时间内的加料量。相对现有技术中在硅液浮力作用下称量单晶硅棒的质量变化值，并基于此质量变化值确定加料量，提高了加料量控制的准确性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶体 连续 生长 加料 控制 方法 控制系统 | ||
【主权项】：
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