[发明专利]用于从转移的压电层或铁电层产生微机电系统的方法在审
| 申请号： | 202010145160.0 | 申请日： | 2020-03-04 |
| 公开（公告）号： | CN111669142A | 公开（公告）日： | 2020-09-15 |
| 发明（设计）人： | A·莱因哈特;M·布斯凯;A·巴塔西特 | 申请（专利权）人： | 原子能和能源替代品委员会;贝桑松大学;国立高等机械与微技术学校 |
| 主分类号： | H03H9/17 | 分类号： | H03H9/17;H03H3/02;B81C3/00;B81B7/02 |
| 代理公司： | 北京戈程知识产权代理有限公司 11314 | 代理人： | 程伟;王锦阳 |
| 地址： | 法国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于从转移的压电层或铁电层产生微机电系统的方法。用于制造微机电系统的方法包括以下步骤：‑在临时衬底(100)的表面上产生堆叠以产生第一组件，包括：‑至少沉积压电材料或铁电材料以产生压电材料层或铁电材料层(300)；‑产生第一键合层(500b)；‑产生第二组件，包括至少在主衬底(700)的表面上产生第二键合层(500c)；‑在两个组件中的至少一个组件中产生至少一个声隔离结构；‑在两个组件中的至少一个组件中产生至少一个包括一个或多个电极的电极层；‑在两个组件中的至少一个组件中产生至少一个电极层之前或之后，通过两个键合层键合所述两个组件；‑移除所述临时衬底。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 转移 压电 铁电层 产生 微机 系统 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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