[发明专利]一种声表面波器件及其制作方法在审
| 申请号： | 202010145350.2 | 申请日： | 2020-03-05 |
| 公开（公告）号： | CN111211755A | 公开（公告）日： | 2020-05-29 |
| 发明（设计）人： | 李勇;温旭杰;何朝峰;王祥邦;肖功亚;黄亮 | 申请（专利权）人： | 中电科技德清华莹电子有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/145 | 分类号： | H03H9/145;H03H9/25 |
| 代理公司： | 杭州赛科专利代理事务所(普通合伙) 33230 | 代理人： | 郭薇 |
| 地址： | 313000 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及声表面波换能器件技术领域，尤其是一种声表面波器件及其制作方法，包括压电衬底、制作在压电衬底表面的金属电极结构，所述的压电衬底表面上至少有一个有效声表面波传输通道区域边缘镶嵌有介质体，所述的介质体作为声表面波声波导的侧壁，本发明在压电衬底表面镶嵌介质体，作为声表面波声波导的硬侧壁，利用表面镶嵌介质体对传输的声表面波反射、衍射，直接在压电衬底表面制作出器件所需要的声表面波传输声道，引导声表面波按设计规范传输。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 表面波 器件 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
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