[发明专利]无引线压力传感器在审
| 申请号： | 202010146174.4 | 申请日： | 2020-03-05 |
| 公开（公告）号： | CN111664990A | 公开（公告）日： | 2020-09-15 |
| 发明（设计）人： | C.瓦格纳 | 申请（专利权）人： | 硅微结构股份有限公司 |
| 主分类号： | G01L19/14 | 分类号： | G01L19/14 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 贺紫秋 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种压力传感器系统，包括在小型、空间有效的封装中的压力传感器管芯(100)和其他部件(530)，其中封装允许气体或液体到达压力传感器管芯(100)的膜(110)的一侧或两侧。封装可包括基板(200)和盖(300)，基板(200)和盖(300)中的一个或两个将封装内部分成两个腔室。基板可具有实心底层(238)、在层的部分长度上延伸的狭槽或路径(211)的中间层(236)和允许触达狭槽或路径(211)的两个通孔(214，218)的顶层(234)。盖(300)可具有两个端口(320，330)。第一端口(320)可通向第一腔室(312)，压力传感器(100)的顶侧位于第一腔室(314)中。第二端口(330)可通向第二腔室(314)和狭槽或路径(211)，狭槽或路径(211)通向压力传感器(100)的底侧。 | ||
| 搜索关键词： | 引线 压力传感器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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