[发明专利]离子源引出电极系统在审
| 申请号： | 202010147462.1 | 申请日： | 2020-03-05 |
| 公开（公告）号： | CN113363127A | 公开（公告）日： | 2021-09-07 |
| 发明（设计）人： | 洪俊华;陈炯 | 申请（专利权）人： | 上海临港凯世通半导体有限公司;上海凯世通半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/08 | 分类号： | H01J37/08;H01J37/317 |
| 代理公司： | 上海弼兴律师事务所 31283 | 代理人： | 薛琦;张冉 |
| 地址： | 201306 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种离子源引出电极系统，包括等离子体电极和引出电极组，所述引出电机组在束流前进方向上依次包括第一地电极、抑制电极和第二地电极，其中，第一地电极和第二地电极接地，所述抑制电极接负压，所述等离子体电极接正压，所述等离子体电极和第一地电极之间的电场为引出电场，所述引出电场用于控制等离子体引出界面的曲率和形状。引入另一个地电极作为屏蔽地电极，用于电场屏蔽隔离等离子体电极和抑制电极，稳定引出电场和电场透镜电场，控制等离子体引出界面曲率和形状，从而来控制束流的初始形状，由此得到理想的束流形态。 | ||
| 搜索关键词： | 离子源 引出 电极 系统 | ||
【主权项】：
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