[发明专利]一种暖机方法有效
| 申请号： | 202010147538.0 | 申请日： | 2020-03-05 |
| 公开（公告）号： | CN111370283B | 公开（公告）日： | 2023-01-17 |
| 发明（设计）人： | 徐龙江;张君 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京思创毕升专利事务所 11218 | 代理人： | 孙向民;廉莉莉 |
| 地址： | 100176 北京市大*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种暖机方法，包括：向刻蚀腔室内通入第一刻蚀气体，对置于所述刻蚀腔室内的暖机片进行刻蚀；其中，所述第一刻蚀气体能够与所述光胶暖机片发生反应形成含碳副产物，并覆盖所述刻蚀腔室内石英窗的表面；向所述刻蚀腔室内通入第二刻蚀气体，对所述暖机片进行刻蚀，形成刻蚀副产物并覆盖于所述刻蚀腔室内壁。本发明的有益效果在于，第一刻蚀气体与含有碳元素的暖机片反应，生成碳或含碳的固体化合物，碳或含碳的固体化合物沉积在刻蚀腔体的石英盖上，对石英盖板起到隔离保护作用，防止第二刻蚀气体与石英盖反生反应，延长石英盖的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 方法 | ||
【主权项】：
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