[发明专利]一种气相外延生长装置及其衬底承载台有效
申请号: | 202010148119.9 | 申请日: | 2020-03-05 |
公开(公告)号: | CN113355744B | 公开(公告)日: | 2022-12-23 |
发明(设计)人: | 黄俊;徐科 | 申请(专利权)人: | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
主分类号: | C30B25/12 | 分类号: | C30B25/12;C30B25/10;C30B25/08;C30B29/40 |
代理公司: | 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304 | 代理人: | 孙伟峰 |
地址: | 215123 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明公开了一种用于气相外延生长装置的衬底承载台,衬底承载台包括用于保温衬底的腔体,该衬底置于腔体内,腔体包括相对设置的气流入口和气流出口。本发明还公开了一种气相外延生长装置,包括石英管和设于石英管内的上述的衬底承载台,气相外延生长装置还包括套设于石英管外侧的热感应线圈,热感应线圈用于加热所述衬底承载台,以提供金属氮化物的外延生长所需要的温度。本发明解决了现有的气相外延生长装置对于衬底的保温效果较差,导致所形成的AlN单晶薄膜的品质较差的问题。 | ||
搜索关键词: | 一种 外延 生长 装置 及其 衬底 承载 | ||
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所,未经中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/202010148119.9/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种建筑用龙骨卡扣
- 下一篇:一种用于固定机罩内板的夹具