[发明专利]一种高散热扇出型封装结构及封装方法有效
申请号: | 202010148685.X | 申请日: | 2020-03-05 |
公开(公告)号: | CN111430327B | 公开(公告)日: | 2022-02-11 |
发明(设计)人: | 崔成强;杨冠南;徐广东;张昱 | 申请(专利权)人: | 广东工业大学 |
主分类号: | H01L23/498 | 分类号: | H01L23/498;H01L23/14;H01L23/373;H01L21/48;H01L21/60 |
代理公司: | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人: | 林丽明 |
地址: | 510060 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明涉及一种高散热扇出型封装结构,包括带有凸点的芯片、石墨烯载板、介电层、再布线层、塑封层、散热模块以及焊球;所述石墨烯载板的上下两侧均设置有所述再布线层,所述介电层设置在所述石墨烯载板与所述再布线层之间,所述石墨烯载板上贯穿有铜柱,所述再布线层之间通过所述铜柱进行连接,所述芯片设置在所述石墨烯载板的上方,位于所述石墨烯载板上方的再布线层与所述芯片的凸点连接,位于所述石墨烯载板下方的再布线层与所述焊球连接,所述塑封层包裹在所述芯片的外侧,所述散热模块设置在所述塑封层上。本发明的高散热扇出型封装结构为芯片扇出封装结构的高密度互连提供了平台,同时大幅提高芯片封装结构的散热能力。 | ||
搜索关键词: | 一种 散热 扇出型 封装 结构 方法 | ||
【主权项】:
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