[发明专利]一种钛硅合金靶材及其制造方法有效
| 申请号： | 202010154164.5 | 申请日： | 2020-03-07 |
| 公开（公告）号： | CN111136265B | 公开（公告）日： | 2022-02-18 |
| 发明（设计）人： | 张凤戈;李建奎;魏铁峰;张欠男;缪磊;张学华;岳万祥 | 申请（专利权）人： | 北京安泰六九新材料科技有限公司;涿州安泰六九新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | B22F3/04 | 分类号： | B22F3/04;B22F3/15;C22C1/05;C22C1/10;C22C14/00;C23C14/34;C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京五洲洋和知识产权代理事务所(普通合伙) 11387 | 代理人： | 刘春成;荣红颖 |
| 地址： | 100081 北京市海*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种钛硅合金靶材及制造方法，属于合金靶材制备领域。该方法包括：合金粉末制备步骤，将钛源和硅源混料制成合金粉末；冷等静压步骤，对所述合金粉末进行冷等静压处理，得到压坯；脱气步骤，对所述压坯进行脱气处理；热等静压步骤，对所述脱气处理后的压坯进行热等静压处理，得到钛硅合金靶材。钛硅合金靶材具有致密度高、合金化程度高，无气孔和偏析，组织均匀，晶粒细小等优点，相对密度超过99％，平均晶粒尺寸不大于100μm。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 合金 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
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