[发明专利]一种基于宽带光源的反射扫描相干衍射显微成像装置及应用有效
| 申请号： | 202010154429.1 | 申请日： | 2020-03-07 |
| 公开（公告）号： | CN111290108B | 公开（公告）日： | 2022-08-02 |
| 发明（设计）人： | 江怀东;雷健;张建华 | 申请（专利权）人： | 上海科技大学 |
| 主分类号： | G02B21/06 | 分类号： | G02B21/06;G02B21/26;G02B21/36 |
| 代理公司： | 上海申汇专利代理有限公司 31001 | 代理人： | 徐俊 |
| 地址： | 201210 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基于宽带光源的反射扫描相干衍射显微成像装置及应用，属于显微成像技术领域；成像装置包括沿光束传播方向依次排列设有的宽波长展宽光源、探针光斑产生组件、反射样品台组件、中心挡板装置和信号收集与图像重建系统；本发明装置基于非相干的宽带光源的条件下，以反射与扫描相干衍射相结合的形式，可以实现对样品在入射光源所包含的不同波长模式下的表面结构模值信息、相位信息和光斑信息的重构，并能由此判断出样品对不同波长光的吸收情况；具有利用非相干光源应用于表面结构成像以及表面元素分析的广阔前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 宽带 光源 反射 扫描 相干 衍射 显微 成像 装置 应用 | ||
【主权项】：
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