[发明专利]一步法卷对卷制备钙钛矿薄膜连续制备的工艺及装置在审

专利信息
申请号: 202010154904.5 申请日: 2020-03-06
公开(公告)号: CN111341919A 公开(公告)日: 2020-06-26
发明(设计)人: 郑永强;张宇;高辉;孙国平;欧阳俊波;韩长峰;冯宗宝;钱磊;张德龙 申请(专利权)人: 江苏集萃分子工程研究院有限公司
主分类号: H01L51/48 分类号: H01L51/48;H01L51/42
代理公司: 苏州华博知识产权代理有限公司 32232 代理人: 黄珩
地址: 215500 江苏省苏州市常*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一步法卷对卷制备钙钛矿薄膜连续制备的工艺及装置,沿基材传输方向依次设置有放卷装置、涂布装置、干燥装置、萃取装置、退火装置和收卷装置,放卷装置包括有放卷轴以及若干沿基材传输方向设置的支撑辊,涂布装置包括有涂布背辊以及狭缝模头,狭缝模头朝向涂布背辊一侧供给涂布液;干燥装置包括有干燥箱体以及设置在干燥箱体内的加热装置;萃取装置包括有萃取槽和萃取槽内的导向辊组,萃取槽内装有与涂布液对应的反溶剂,退火装置包括有退火箱体以及设置在退火箱体内的加热装置,收卷装置包括有收卷轴,对钙钛矿层进行反溶剂萃取,可以极大促进晶体的形核及生长,从而获得结晶良好、排列致密以及表面平整的钙钛矿薄膜。
搜索关键词: 一步法 制备 钙钛矿 薄膜 连续 工艺 装置
【主权项】:
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