[发明专利]一种在基体表面沉积含Ti过渡层及钛掺杂类金刚石的改性薄膜及方法有效
| 申请号： | 202010155390.5 | 申请日： | 2020-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN111334794B | 公开（公告）日： | 2022-03-29 |
| 发明（设计）人： | 王静;王宁;侯保荣;戈成岳;李红玲 | 申请（专利权）人： | 中国科学院海洋研究所 |
| 主分类号： | C23C28/00 | 分类号： | C23C28/00;C23C14/02;C23C14/06;C23C14/35;C23C16/26;C23C16/50 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人： | 李颖 |
| 地址： | 266071 *** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明属于材料表面改性领域，具体涉及一种在基体表面沉积含Ti过渡层及钛掺杂类金刚石的改性薄膜及方法。采用等离子体增强非平衡磁控溅射物理气相沉积(PEUMS‑PVD)和等离子体增强化学气相沉积(PECVD)相结合技术于基体表面沉积含Ti过渡层及钛掺杂类金刚石的改性薄膜。本发明改性膜，表面致密，耐磨、耐蚀性能良好，尤其适用于海洋大气腐蚀环境，在处于海洋大气环境的精密仪器、微型散热器等具有很好的防护效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基体 表面 沉积 ti 过渡 掺杂 金刚石 改性 薄膜 方法 | ||
【主权项】：
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