[发明专利]基于法向跟踪的自由曲面差动共焦测量方法及装置有效
| 申请号： | 202010157099.1 | 申请日： | 2020-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN111288927B | 公开（公告）日： | 2021-05-04 |
| 发明（设计）人： | 赵维谦;倪赫;邱丽荣 | 申请（专利权）人： | 北京理工大学 |
| 主分类号： | G01B11/25 | 分类号： | G01B11/25 |
| 代理公司： | 北京正阳理工知识产权代理事务所(普通合伙) 11639 | 代理人： | 邬晓楠 |
| 地址： | 100081 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基于法向跟踪的自由曲面差动共焦测量方法及装置，属于光学精密检测领域。本发明利用直径小于物镜入瞳的离轴且平行于光轴的准直光束入射至物镜产生的斜照明聚焦光束来测量自由曲面样品，通过改变离轴准直光束的离轴量来控制物镜斜照明聚焦光束的倾斜角度，使其与自由曲面的法线方向一致，从而使聚焦至自由曲面的照明光束原光路返回以实现共光路，并利用激光差动共焦测量方法对轴向焦点位置进行法向跟踪探测，以获得自由曲面样品的形貌参数。本发明利用差动共焦技术对自由曲面样品进行非接触测量，并通过控制器保持对样品的法向跟踪和轴向焦点跟踪，具备高测量效率和纳米级测量精度。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 跟踪 自由 曲面 差动 测量方法 装置 | ||
【主权项】：
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