[发明专利]一种微波等离子金刚石生长设备及其应用方法在审
| 申请号： | 202010157836.8 | 申请日： | 2020-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN111235634A | 公开（公告）日： | 2020-06-05 |
| 发明（设计）人： | 孙力浩;姚勇 | 申请（专利权）人： | 上海三朗纳米技术有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/10 | 分类号： | C30B25/10;C30B29/04 |
| 代理公司： | 上海助之鑫知识产权代理有限公司 31328 | 代理人： | 俞黎玉 |
| 地址： | 201600 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种微波等离子金刚石生长设备，包括顶部设有开口的耦合腔，耦合腔上设有工艺气体进口端，耦合腔内设有基台，基台上放置有基片，耦合腔上方设有微波装置，微波装置包括微波源、波导、天线和底部开口的连接件，微波源的一端连接波导；波导下方连接有连接件；天线的一端穿过波导穿设入连接件内；将耦合腔顶部的开口至与连接件的底部开口对接。本发明通过微波产生的高能量将工艺气体离子化，离子化的气体在基片表面生长成金刚石；本发明以化学沉积为原理，利用微波等离子金刚石生长设备生长的金刚石单晶膜在红外窗口片的应用意义重大。本发明无需热丝对基片进行加热，彻底消除了污染源，同时提高能量密度，使薄膜生长更好更快。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微波 等离子 金刚石 生长 设备 及其 应用 方法 | ||
【主权项】：
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