[发明专利]一种零功耗压力传感器的制备方法有效
| 申请号： | 202010157987.3 | 申请日： | 2020-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN111220314B | 公开（公告）日： | 2021-10-22 |
| 发明（设计）人： | 孙旭辉;文震;雷浩 | 申请（专利权）人： | 苏州大学 |
| 主分类号： | G01L9/00 | 分类号： | G01L9/00 |
| 代理公司： | 北京智汇东方知识产权代理事务所(普通合伙) 11391 | 代理人： | 白莉莉 |
| 地址： | 215123 江苏省苏州市工业园区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种零功耗压力传感器的制备方法，包括：制备获得还原氧化石墨烯/抗坏血酸墨水；将还原氧化石墨烯/抗坏血酸墨水置入3D打印机中，利用3D打印技术打印出圆柱状样品和位于圆柱状样品顶表面的圆环状样品；将圆柱状样品和圆环状样品冷冻干燥，并加热预设时间，以获得介电层坯料和间隔层坯料，介电层坯料由圆柱状样品形成，间隔层坯料由圆环状样品形成；在介电层坯料和间隔层坯料的表面涂覆聚二甲基硅氧烷，以分别获得介电层和间隔层；在间隔层的顶表面形成上电极层，并在介电层的底表面形成下电极层，从而获得零功耗压力传感器。本发明方案制备获得的零功耗压力传感器具有超宽的检测范围，且具有较高的灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 功耗 压力传感器 制备 方法 | ||
【主权项】：
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