[发明专利]可增强发射谱线强度的磁控溅射空心阴极灯有效
| 申请号： | 202010160324.7 | 申请日： | 2020-03-10 |
| 公开（公告）号： | CN111293032B | 公开（公告）日： | 2022-12-30 |
| 发明（设计）人： | 张硕;姚子伟 | 申请（专利权）人： | 国家海洋环境监测中心 |
| 主分类号： | H01J61/067 | 分类号： | H01J61/067;H01J61/09;H01J61/16 |
| 代理公司： | 大连非凡专利事务所 21220 | 代理人： | 闪红霞 |
| 地址： | 116000 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明为一种可增强发射谱线强度的磁控溅射空心阴极灯，有灯管（1），在灯管（1）内设有筒状空心阴极（2）、环形阳极（3）及惰性气体（4），环形阳极（3）的内径大于筒状空心阴极（2），灯管（1）内部有至少20mT的恒定磁场（5），所述恒定磁场（5）N极与S极的垂直连线与筒状空心阴极（2）的轴线平行。通过恒定磁场控制电子以近似螺旋形轨迹飞向阳极，显著增大了电子在两极间的飞行距离，增加了与气体分子发生碰撞的几率，可产生更多的正离子轰击阴极表面，提高了空心阴极灯溅射率，增强空心阴极灯发射谱线强度，从而提高了检测灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 增强 发射 强度 磁控溅射 空心 阴极 | ||
【主权项】：
暂无信息
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