[发明专利]一种激光器结构及其制备方法和应用有效
申请号: | 202010162222.9 | 申请日: | 2020-03-10 |
公开(公告)号: | CN111342341B | 公开(公告)日: | 2022-02-01 |
发明(设计)人: | 李齐柱;毛明明;周特;张鹏飞;徐真真 | 申请(专利权)人: | 常州纵慧芯光半导体科技有限公司 |
主分类号: | H01S5/10 | 分类号: | H01S5/10;H01S5/12;H01S5/22 |
代理公司: | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人: | 王华英 |
地址: | 213000 江苏省常州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明提出一种激光器结构及其制备方法和应用,所述激光器结构包括:衬底;外延层,设置在所述衬底上,所述外延层包括层叠的下包层、有源层、上包层和欧姆接触层;脊型波导,形成在所述上包层上;第一布拉格光栅,形成在所述上包层上,并位于所述脊型波导的一侧;第二布拉格光栅,形成在所述上包层上,并位于所述脊型波导的另一侧;其中,所述第一布拉格光栅的光栅结构不同于所述第二布拉格光栅的光栅结构。本发明提出的激光器结构结构稳定、光学损耗小、工艺简单易实现,可以有效提高所述太赫兹波光源的信号强度、稳定性和光谱质量。 | ||
搜索关键词: | 一种 激光器 结构 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】:
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