[发明专利]一种高性能透明导电薄膜及其制备方法和应用有效
| 申请号： | 202010165375.9 | 申请日： | 2020-03-11 |
| 公开（公告）号： | CN111446042B | 公开（公告）日： | 2021-09-21 |
| 发明（设计）人： | 姚日晖;李晓庆;宁洪龙;符晓;陈俊龙;张旭;梁宏富;梁志豪;卢宽宽;彭俊彪 | 申请（专利权）人： | 华南理工大学 |
| 主分类号： | H01B13/00 | 分类号： | H01B13/00;H01B5/14;C23C14/28;C23C14/08 |
| 代理公司： | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人： | 罗啸秋 |
| 地址： | 510640 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明导电薄膜材料领域，公开了一种高性能透明导电薄膜及其制备方法和应用。所述制备方法为：将透明基板经清洗、烘干后，在室温下通过脉冲激光沉积GZO导电薄膜，得到高性能透明导电薄膜。本发明采用了GZO作为导电薄膜材料，绿色环保；且采用单层GZO薄膜，工艺简单；并通过脉冲激光沉积制备，无需退火处理，有效降低成本。所得GZO导电薄膜具有高透过率，低粗糙度，低电阻的优点，可用于电磁器件和设备屏蔽，例如：战斗机座舱盖和海军舰艇舷窗等。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 性能 透明 导电 薄膜 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
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