[发明专利]LED光源曝光系统及曝光机在审

专利信息
申请号: 202010165663.4 申请日: 2020-03-11
公开(公告)号: CN111158221A 公开(公告)日: 2020-05-15
发明(设计)人: 周学思 申请(专利权)人: 东莞市中誉光电科技有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 523556 广东省东*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明LED光源曝光系统及曝光机包括发出紫外光的UV‑LED光源组件、接收并透射UV‑LED光源组件发出的所述紫外光的复眼组件、接收并反射经过所述复眼组件匀化的紫外光的平面反光装置及接收并反射经过所述平面反光装置匀化准直的紫外光的曲面镜,所述曲面镜将接收的紫外光反射至底片表面以进行图形转移;本发明通过在平面反光镜上设置挡片对照射在底片上的光斑进行改变,满足光斑的均匀度,保证底片曝光的一致性。本发明同时可以满足不同尺寸的曲面镜,不同的曝光面积,只需要更平面反光装置与复眼组件、曲面镜之间的距离即可实现,也可以通过调整平面反光镜的角度实现,具有高度的灵活性。
搜索关键词: led 光源 曝光 系统
【主权项】:
暂无信息
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