[发明专利]承载装置、承载方法及检测设备

摘要

本发明公开了一种承载装置、承载方法及检测设备，所述承载装置包括第一基板和第二基板，所述第一基板和第二基板以层叠形式设置并被配置为相对移动；所述第一基板设有至少三个不共线的调节柱，所述第一基板具有第一限位机构，所述第一限位机构用于使调节柱沿第一轨迹移动，所述第二基板具有第二限位机构，所述第二限位机构用于使所述调节柱沿第二轨迹移动；所述第一轨迹和第二轨迹相交于一点，当所述第一基板和第二基板相对移动至多个连续的位置时，至少三个调节柱的中心共圆周，且所述圆周的第一圆心相同而半径不同。该承载装置便于放置待承载物并使得放置在其上的待承载物的中心与承载装置的中心重叠，而且对准过程简单、快速。