[发明专利]一种皮拉尼真空计系统在审
申请号: | 202010168171.0 | 申请日: | 2020-03-11 |
公开(公告)号: | CN111289173A | 公开(公告)日: | 2020-06-16 |
发明(设计)人: | 周琼;傅剑宇;侯影;刘超;陈大鹏 | 申请(专利权)人: | 无锡物联网创新中心有限公司 |
主分类号: | G01L21/00 | 分类号: | G01L21/00 |
代理公司: | 无锡市大为专利商标事务所(普通合伙) 32104 | 代理人: | 曹祖良;陈丽丽 |
地址: | 214135 江苏省无锡市新吴区*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明涉及真空压力测量技术领域,具体公开了一种皮拉尼真空计系统,其中,包括:皮拉尼真空计、电压采集装置、控制电路和电源装置,电压采集装置与皮拉尼真空计连接,控制电路与电压采集装置连接,电源装置分别与控制电路和皮拉尼真空计连接,皮拉尼真空计用于测量真空度并得到与真空度对应的电压值;电压采集装置用于采集电压值;控制电路用于根据电压值得到对应的实际真空度,并将实际真空度与真空度阈值比较,得到恒流驱动信号或恒温驱动信号;电源装置用于根据恒流驱动信号向皮拉尼真空计提供恒流源,以及用于根据恒温驱动信号向皮拉尼真空计提供恒温源。本发明提供的皮拉尼真空计系统可以实现在高真空和低真空都有较高灵敏度。 | ||
搜索关键词: | 种皮 真空计 系统 | ||
【主权项】:
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