[发明专利]三维半导体存储器件在审
| 申请号： | 202010169393.4 | 申请日： | 2020-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN111725219A | 公开（公告）日： | 2020-09-29 |
| 发明（设计）人： | 朴世准;李载德;张在薰;姜振圭;洪昇完;洪玉千 | 申请（专利权）人： | 三星电子株式会社 |
| 主分类号： | H01L27/11563 | 分类号： | H01L27/11563;H01L27/11568;H01L27/11578 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 翟然 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种半导体存储器件包括：堆叠结构，包括交替地堆叠在基板上的电极和绝缘层；以及垂直沟道结构，穿透该堆叠结构。垂直沟道结构包括半导体图案和在半导体图案与电极之间的垂直绝缘层。垂直绝缘层包括电荷存储层、填充绝缘层和隧道绝缘层。垂直绝缘层具有在半导体图案和每个电极之间的单元区域以及在半导体图案和每个绝缘层之间的单元分隔区域。单元区域的电荷存储层的一部分与隧道绝缘层物理接触。填充绝缘层在半导体图案和单元区域的电荷存储层的其余部分之间。 | ||
| 搜索关键词： | 三维 半导体 存储 器件 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的；包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的；包括有热磁组件的
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