[发明专利]激光诱导液态金属转印电路、制备方法及柔性压力传感器有效
申请号: | 202010170222.3 | 申请日: | 2020-03-12 |
公开(公告)号: | CN111256885B | 公开(公告)日: | 2022-05-17 |
发明(设计)人: | 吴东;吴昊;张乐然;劳召欣;汪超炜 | 申请(专利权)人: | 中国科学技术大学 |
主分类号: | G01L1/18 | 分类号: | G01L1/18;G01L9/06;G01L19/00 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 吴梦圆 |
地址: | 230026 安*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 一种激光诱导液态金属转印电路、制备方法及柔性压力传感器,本发明用飞秒激光加工PDMS层表面,利用飞秒激光加工前后PDMS层表面对液态金属的黏附性的改变来选择性转印液态金属,再用PDMS膜封装后得到液态金属微通道组成的激光诱导液态金属转印电路,工艺简便灵活。制备得到的柔性压力传感器结构简单,具有极高的分辨力,可以用来检测同类压力传感器难以检测到的微小压力变化。 | ||
搜索关键词: | 激光 诱导 液态 金属 电路 制备 方法 柔性 压力传感器 | ||
【主权项】:
暂无信息
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