[发明专利]非100晶向单晶硅片的制备方法在审
| 申请号： | 202010170383.2 | 申请日： | 2020-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN111267248A | 公开（公告）日： | 2020-06-12 |
| 发明（设计）人： | 岳维维;孟祥熙;杨立功;曹育红 | 申请（专利权）人： | 常州时创能源股份有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/00 | 分类号： | B28D5/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 213300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种非100晶向单晶硅片的制备方法，包括如下步骤：将单晶硅棒切割出斜四棱柱状硅块；硅块的底面与单晶硅棒的轴心垂直；硅块的四个侧面分为两对：一对相互平行、且与底面垂直的第一侧面，以及一对相互平行、且相对底面倾斜的第二侧面；以平行于第二侧面的方向对硅块进行切片，切片所得的硅片为非100晶向的单晶硅片。本发明能以直径240mm的单晶硅棒为原材料，制备210mm×210mm的非100晶向单晶硅片。 | ||
| 搜索关键词： | 100 单晶硅 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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