[发明专利]一种应用于烧结炉温控系统的静电保护器件

摘要

本发明公开了一种应用于烧结炉温控系统的静电保护器件，器件包括P‑SUB区、BN+区、HV‑NWell区、第一P‑Well区、N‑Well区、第二P‑Well区、第一P+注入区、第一N+注入区、第二P+注入区、第三P+注入区、第二N+注入区、第四P+注入区、第一场氧隔离区、第二场氧隔离区、第三场氧隔离区、第四场氧隔离区、第五场氧隔离区、第六场氧隔离区、第七场氧隔离区、第一多晶硅虚设栅和第二多晶硅虚设栅。本发明的器件能够承受足够高强度的静电应力，而不会发生表面热击穿现象，并且可以抑制器件的表面通路，避免电流集边现象的发生。