[发明专利]一种高精度热重分析仪在审
申请号: | 202010171514.9 | 申请日: | 2020-03-12 |
公开(公告)号: | CN111351733A | 公开(公告)日: | 2020-06-30 |
发明(设计)人: | 许鹏程;李昕欣;于海涛;姚方兰;杨家林 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
主分类号: | G01N5/04 | 分类号: | G01N5/04 |
代理公司: | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人: | 郝传鑫;贾允 |
地址: | 200050 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明涉及测量仪器领域,本发明公开了一种高精度热重分析仪,其包括集成式谐振悬臂梁、样品测试腔、气体仓和数据采集系统;该集成式谐振悬臂梁设于该样品测试腔内,该集成式谐振悬臂梁与该样品测试腔的内壁、该数据采集系统连接,该集成式谐振悬臂梁用于对待测样品称重和加热;该集成式谐振悬臂梁包括谐振悬臂梁和加热元件;该谐振悬臂梁包括第一端;该第一端设有该加热元件,该加热元件用于加热该待测样品;该气体仓位于该样品测试腔的外部,该气体仓用于给该样品测试腔提供气体氛围。本发明提供的高精度热重分析仪具有结构简单和测量精度高的特点。 | ||
搜索关键词: | 一种 高精度 分析 | ||
【主权项】:
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