[发明专利]一种带有导热通道的铜钼铜载体基板及其制造方法在审
申请号: | 202010172272.5 | 申请日: | 2020-03-12 |
公开(公告)号: | CN111261594A | 公开(公告)日: | 2020-06-09 |
发明(设计)人: | 周莹桥;邢大伟 | 申请(专利权)人: | 哈尔滨铸鼎工大新材料科技有限公司 |
主分类号: | H01L23/13 | 分类号: | H01L23/13;H01L23/14;H01L23/367;H01L23/373;H01L21/48;B32B15/01;B32B15/20 |
代理公司: | 哈尔滨龙科专利代理有限公司 23206 | 代理人: | 高媛 |
地址: | 150000 黑龙江省哈*** | 国省代码: | 黑龙江;23 |
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摘要: | 一种带有导热通道的铜钼铜载体基板及其制造方法,属于电子封装复合材料技术领域。本发明的目的是使铜钼铜导热基板的散热能力更好、异种金属的界面结合强度更高,所述基板是铜板钼板相间组成的多层结构,最外层为铜板,所述钼板上沿板厚方向开有均匀的通孔,通孔内填充有铜作为通道联通相邻铜板。所述方法如下:钼板打孔;铜板、钼板的表面处理;钼板孔填充处理;固定;抽真空;复合轧制;热处理;后处理。本发明的基板,散热效果得到了大幅度提高。同时由于散热通道的钉扎作用,异种金属之间界面结合强度高,可以减小加工变形量,减少边部的开裂现象,提高产品合格率,降低成本,同时在后续使用过程中,界面不容易产生脱落失效。 | ||
搜索关键词: | 一种 带有 导热 通道 铜钼铜 载体 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
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