[发明专利]一种单质量全对称三轴硅微加速度计有效
申请号: | 202010173872.3 | 申请日: | 2020-03-12 |
公开(公告)号: | CN113391095B | 公开(公告)日: | 2022-12-02 |
发明(设计)人: | 刘雪松;闫桂珍;赵猛;王银鹏;金红涛;庞晨鹏 | 申请(专利权)人: | 北京微元时代科技有限公司 |
主分类号: | G01P15/125 | 分类号: | G01P15/125 |
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地址: | 100190 北京市海淀区*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明涉及三轴加速度计,具体是一种单质量、全对称的三轴硅微加速度计。本发明解决了现有三轴加速度计结构复杂、良率低、轴间串扰大的问题。一种单质量全对称三轴硅微加速度计,包括玻璃基底、玻璃盖帽、质量块、四根三自由度弹性梁、四个锚块、X轴检测电极、Y轴检测电极、Z轴检测电极;所述质量块、四根三自由度弹性梁、四个锚块、X轴检测电极、Y轴检测电极均为硅结构,且位于玻璃基板和玻璃盖帽之间;所述质量块、四根三自由度弹性梁的下表面与玻璃基底平行且留有间隙;所述质量块、四根三自由度弹性梁的上表面与玻璃盖板平行且留有间隙;本发明适用于导航制导、姿态控制等高端应用领域。 | ||
搜索关键词: | 一种 质量 对称 三轴硅微 加速度计 | ||
【主权项】:
暂无信息
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