[发明专利]一种高速探针卡测试方法及测试系统有效
| 申请号： | 202010175347.5 | 申请日： | 2020-03-13 |
| 公开（公告）号： | CN111443321B | 公开（公告）日： | 2021-06-22 |
| 发明（设计）人： | 梁建;罗雄科 | 申请（专利权）人： | 上海泽丰半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | G01R35/00 | 分类号： | G01R35/00;G01R31/28;G01R1/073 |
| 代理公司： | 上海硕力知识产权代理事务所(普通合伙) 31251 | 代理人： | 童素珠 |
| 地址： | 200233 上海市徐*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种高速探针卡测试方法及测试系统，包括步骤：将母板、第一基板组件、高速探针、第二基板组件依次进行叠加组装形成待测高速探针卡；所述母板上至少设置有一个测试单元，每个测试单元至少包括两个接口模块和收发模块，所述接口模块之间直接连接或通过收发模块连接；当测试信号对所述待测高速探针进行性能测试时，所述测试信号通过测试头的信号输入端依次通过所述第二基板组件、高速探针、第一基板组件的信号输入端进入所述母板，进行所述待测高速探针卡的测试。本发明提高测试的效率和准确性，并且避免直接连接传统探针卡内测试头中pitch在60um‑150um之间的探针，不易连接进行测试的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高速 探针 测试 方法 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海泽丰半导体科技有限公司，未经上海泽丰半导体科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010175347.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
