[发明专利]器件板处理装置及其处理方法在审
| 申请号： | 202010179865.4 | 申请日： | 2020-03-16 |
| 公开（公告）号： | CN111399259A | 公开（公告）日： | 2020-07-10 |
| 发明（设计）人： | 郑立彬 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/13 | 分类号： | G02F1/13;H01L51/56;B08B1/04;B08B3/12;B08B3/08;B08B3/02 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人： | 唐秀萍 |
| 地址： | 518132 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种器件板处理装置及其处理方法，包括：载物台装载以及传送器件板；照射单元去除所述器件板表面的第一异物；剥离单元剥离经过所述照射单元去除所述器件板表面的所述第一异物之后的所述器件板表面的第二异物；清洗单元清洗经过所述剥离单元剥离所述器件板表面的所述第二异物之后的所述器件板表面；除水单元干燥经过所述清洗单元清洗所述器件板表面之后的所述器件板。本发明实施例提供的器件板处理装置及其处理方法用于简化器件板处理工艺。 | ||
| 搜索关键词： | 器件 处理 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
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