[发明专利]研磨用组合物和研磨方法在审
| 申请号： | 202010180546.5 | 申请日： | 2020-03-16 |
| 公开（公告）号： | CN111718656A | 公开（公告）日： | 2020-09-29 |
| 发明（设计）人： | 角桥祐介;井泽由裕;宗宫晃子 | 申请（专利权）人： | 福吉米株式会社 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02;H01L21/321 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及研磨用组合物和研磨方法。本发明的研磨用组合物含有：二氧化硅颗粒；针对包含具有硅‑硅键的硅材料的研磨对象物的研磨速度调节剂；和，生物杀灭剂，前述生物杀灭剂由碳原子、氢原子和氧原子构成。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 组合 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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