[发明专利]单片集成多针板放电离子源与FAIMS分析器的装置及工作方法有效
| 申请号： | 202010186339.0 | 申请日： | 2020-03-17 |
| 公开（公告）号： | CN111370291B | 公开（公告）日： | 2022-10-11 |
| 发明（设计）人： | 李山;陈池来;刘友江;胡俊 | 申请（专利权）人： | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
| 主分类号： | H01J49/16 | 分类号： | H01J49/16;G01N27/622 |
| 代理公司： | 合肥国和专利代理事务所(普通合伙) 34131 | 代理人： | 张祥骞 |
| 地址： | 230031 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明涉及单片集成多针板放电离子源与FAIMS分析器的装置及工作方法。装置包括由上基板、离子源中间垫片和中基板围成的离化腔体，由中基板、FAIMS分析器中间垫片和下基板围成的检测腔体。离化腔体为离化区，包括多针板电极和离子源板电极。检测腔体的中段为分析区，包括FAIMS分离上电极和FAIMS分离下电极。检测腔体的右端为离子检测区，包括FAIMS致偏电极和样品特征离子检测电极。上基板的左端开设有进样口，分析区左侧的中间基板上开设有FAIMS分析器离子入口，FAIMS分析器中间垫片的右端开设有尾气出口。本发明能够提高待测样品的离子化效率，解决了离化区、分析区长距离离子传输的损耗问题和仪器微型化困难的难题，有利于拓展FAIMS技术的现场检测领域。 | ||
| 搜索关键词： | 单片 集成 多针板 放电 离子源 faims 分析器 装置 工作 方法 | ||
【主权项】：
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