[发明专利]检查方法及检查装置在审
| 申请号： | 202010186941.4 | 申请日： | 2020-03-17 |
| 公开（公告）号： | CN111721776A | 公开（公告）日： | 2020-09-29 |
| 发明（设计）人： | 小林信次;宫路隆昭;松田俊介;中川弘也 | 申请（专利权）人： | 住友化学株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;G01N21/958;G01M11/02 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 葛凡 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供可容易地判断圆偏振板有无缺陷的检查方法及检查装置。依次排列地配置具备圆偏振板(1)及由聚对苯二甲酸乙二醇酯系树脂形成的剥离膜(16a)的膜状的被检查物(10)、相位差板(4)、以及与圆偏振板(1)构成正交尼克尔棱镜的相位差滤光片(3)，从被检查物(10)侧或相位差滤光片(3)侧中的任一侧使光入射，从另一侧进行观察来判断圆偏振板(1)有无缺陷。在该检查中，作为相位差板(4)而依次使用第一相位差板以及具有与第一相位差板不同的面内相位差的第二相位差板。 | ||
| 搜索关键词： | 检查 方法 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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